微量水分測定儀又稱為卡爾•費休水分測定儀，也屬于水分測定儀的一分類，其主要應用于水分值含量較低的樣品檢測，經過近年來改進，大大提高了準確度，擴大了測量范圍。微量水分測定儀可在一分鐘快速測定液體、固體、氣體的水分含量，直接顯示測量結果并自動換算。目前市場上的微量水分測定儀，按測試方法分有以下幾種：
1、紅外法類儀器，體積小，測定范圍比較寬，精確度差，適合水分含量5%～90%的木材、紙張等材料的測定，結構簡單，價格低廉。
2、卡爾費休庫侖法類儀器，主要原理：利用化學反應后電導率變化計算，結構復雜，體積較大，測定精確度最高，適合水分含量在100mg以下(具體重量)的測定。它一般用于陰離子聚合等對水分有非常嚴格要求的化工、醫藥等行業產品測定，價格較貴。
3、卡爾費休容量法，結構比較簡單，體積和精確度適中，適合水分含量100PPm～100%（體積百分數）的測定，一般用于對水分有嚴格要求的化工、醫藥和包裝等行業產品測定，價格從數千元到數萬元不等。
對于一般行業，在測定乙酸乙酯等溶劑的水分含量時，使用卡爾費休容量法水分測定儀完全可以滿足每日2～10次測定的要求，且經濟性比較好。
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